Inhalte

Verfahren zur Erzeugung von Oxyd-, Nitrid-, Polysilicium-, Metall- und Epitaxieschichten

Strukturierung durch Nassätzen und Trockenätzen

Einfluss des Vakuums auf die Prozessschritte

Mess- und Prüfverfahren zur Schichtkontrolle

Bedienungsanleitung in Deutsch und Englisch